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脉冲激光技术在Low-K及铜质材料切割加工中的应用
Low-K材料及铜质材料，难以用普通的金刚石刀轮进行切割加工，原因是金刚石刀轮直接作用会导致Low-K材料的飞溅和外观不良。解决此问题需先去除晶圆表面的Low-K以及铜质金属层，之后再用刀轮切割衬底材
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水导激光技术：革新工业加工，引领精密制造新篇章
水导激光加工原理的研究涉及激光、材料、流体、传热学等多个学科，交叉性强。富通尼高功率绿光激光器发出激光在水的导引下，保持恒定的激光能量密度，到达加工材料表面这种独特的激光与水束耦合的加工方法会产生平行
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