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Low-K材料及铜质材料，难以用普通的金刚石刀轮进行切割加工，原因是金刚石刀轮直接作用会导致Low-K材料的飞溅和外观不良。解决此问题需先去除晶圆表面的Low-K以及铜质金属层，之后再用刀轮切割衬底材料。
2024-05-17
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